非球(qiu)(qiu)面(mian)中心(xin)偏差的(de)(de)測量手段主要包(bao)括接(jie)觸(chu)式(百分(fen)表)和(he)(he)非接(jie)觸(chu)式(光(guang)(guang)學(xue)(xue)傳感器(qi))。文章基(ji)于自準直(zhi)定心(xin)原理和(he)(he)光(guang)(guang)譜(pu)(pu)共焦位移(yi)(yi)傳感技術，對(dui)高(gao)(gao)階非球(qiu)(qiu)面(mian)的(de)(de)中心(xin)偏差進行(xing)了非接(jie)觸(chu)精密測量。光(guang)(guang)學(xue)(xue)加(jia)工(gong)人員根據測量出的(de)(de)校(xiao)正(zheng)量和(he)(he)位置(zhi)方向對(dui)球(qiu)(qiu)面(mian)進行(xing)拋光(guang)(guang)，使非球(qiu)(qiu)面(mian)透鏡的(de)(de)中心(xin)偏差滿足光(guang)(guang)學(xue)(xue)系統(tong)設計的(de)(de)要求。由(you)于非球(qiu)(qiu)面(mian)已加(jia)工(gong)到(dao)一定精度(du)要求，因此對(dui)球(qiu)(qiu)面(mian)的(de)(de)拋光(guang)(guang)和(he)(he)磨削是糾正(zheng)非球(qiu)(qiu)面(mian)透鏡中心(xin)偏差的(de)(de)主要方法(fa)。利(li)用軸對(dui)稱高(gao)(gao)階非球(qiu)(qiu)面(mian)曲(qu)線的(de)(de)數學(xue)(xue)模型計算被(bei)測環D帶的(de)(de)旋轉角(jiao)度(du)θ，即光(guang)(guang)譜(pu)(pu)共焦位移(yi)(yi)傳感器(qi)的(de)(de)工(gong)作(zuo)角(jiao)。光(guang)(guang)譜(pu)(pu)共焦技術可(ke)以測量位移(yi)(yi)，利(li)用返回(hui)光(guang)(guang)譜(pu)(pu)的(de)(de)峰(feng)值波長位置(zhi)。和(he)(he)平區高(gao)(gao)性能光(guang)(guang)譜(pu)(pu)共焦

光(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)技術(shu)主(zhu)要包括成像、定位和(he)(he)(he)(he)檢(jian)測(ce)三個步驟。首先(xian)，通過(guo)顯微(wei)鏡對(dui)樣(yang)品進行(xing)成像，然后(hou)將圖(tu)像傳遞(di)給計(ji)算機(ji)進行(xing)處(chu)理。接(jie)著，利(li)用(yong)算法(fa)對(dui)圖(tu)像進行(xing)定位，以(yi)(yi)確(que)定樣(yang)品的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)空間位置(zhi)。通過(guo)分(fen)析(xi)樣(yang)品的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)信(xin)息，實現對(dui)其成分(fen)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)檢(jian)測(ce)。在點(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)行(xing)業中，光(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)技術(shu)可(ke)以(yi)(yi)準確(que)地檢(jian)測(ce)出點(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)位置(zhi)和(he)(he)(he)(he)尺寸，確(que)保(bao)點(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)質(zhi)(zhi)量(liang)和(he)(he)(he)(he)精(jing)(jing)度(du)(du)(du)。同時(shi)，通過(guo)對(dui)點(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)分(fen)析(xi)，還可(ke)以(yi)(yi)了(le)解(jie)到(dao)點(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)成分(fen)和(he)(he)(he)(he)性質(zhi)(zhi)，從而(er)(er)優化點(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)工藝(yi)。三、光(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)在點(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)行(xing)業中的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)應用(yong)提(ti)高(gao)點(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)質(zhi)(zhi)量(liang)：光(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)技術(shu)可(ke)以(yi)(yi)有(you)效(xiao)(xiao)地檢(jian)測(ce)點(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)位置(zhi)和(he)(he)(he)(he)尺寸，避免(mian)漏點(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)或點(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)過(guo)多的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)問(wen)題。同時(shi)，由于(yu)其高(gao)精(jing)(jing)度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)檢(jian)測(ce)能力，可(ke)以(yi)(yi)確(que)保(bao)點(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)精(jing)(jing)確(que)度(du)(du)(du)和(he)(he)(he)(he)一(yi)致性。提(ti)高(gao)點(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)效(xiao)(xiao)率：通過(guo)光(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)技術(shu)對(dui)點(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)快速檢(jian)測(ce)，可(ke)以(yi)(yi)減少后(hou)續處(chu)理的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)步驟和(he)(he)(he)(he)時(shi)間，從而(er)(er)提(ti)高(gao)生產(chan)效(xiao)(xiao)率。此外，該技術(shu)還可(ke)以(yi)(yi)有(you)效(xiao)(xiao)避免(mian)因(yin)點(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)不良而(er)(er)導(dao)致的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)返工和(he)(he)(he)(he)維修問(wen)題。優化點(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)工藝(yi)：通過(guo)對(dui)點(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)分(fen)析(xi)，可(ke)以(yi)(yi)了(le)解(jie)其成分(fen)和(he)(he)(he)(he)性質(zhi)(zhi)，從而(er)(er)針對(dui)不同的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)材料和(he)(he)(he)(he)需求優化點(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)工藝(yi)。例如，根據點(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)特征選擇合(he)適的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)水(shui)類型、粘合(he)劑強(qiang)度(du)(du)(du)以(yi)(yi)及固化溫度(du)(du)(du)等參數(shu)。池州高(gao)精(jing)(jing)度(du)(du)(du)光(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)光(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)技術(shu)在航空航天領(ling)域可(ke)以(yi)(yi)用(yong)于(yu)航空發(fa)動機(ji)和(he)(he)(he)(he)航天器部件的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)精(jing)(jing)度(du)(du)(du)檢(jian)測(ce)。

光(guang)譜共焦(jiao)(jiao)位(wei)移(yi)傳(chuan)感器在金(jin)屬(shu)(shu)內(nei)(nei)壁輪廓掃描測(ce)量中(zhong)具(ju)有(you)大(da)量的(de)(de)應(ying)用，以(yi)下是幾種典型應(ying)用：尺寸測(ce)量利用光(guang)譜共焦(jiao)(jiao)位(wei)移(yi)傳(chuan)感器可(ke)(ke)以(yi)精確地測(ce)量金(jin)屬(shu)(shu)內(nei)(nei)壁的(de)(de)尺寸，如直徑、圓(yuan)度等(deng)。通過測(ce)量內(nei)(nei)壁不同位(wei)置的(de)(de)直徑，可(ke)(ke)以(yi)評估(gu)內(nei)(nei)壁的(de)(de)形(xing)變和扭曲(qu)程度，進(jin)而評估(gu)加(jia)工質量。表(biao)(biao)面形(xing)貌(mao)測(ce)量光(guang)譜共焦(jiao)(jiao)位(wei)移(yi)傳(chuan)感器可(ke)(ke)以(yi)高精度地測(ce)量金(jin)屬(shu)(shu)內(nei)(nei)壁的(de)(de)表(biao)(biao)面形(xing)貌(mao)，如粗(cu)糙度、峰谷分布等(deng)。通過對表(biao)(biao)面形(xing)貌(mao)數據進(jin)行處理和分析，可(ke)(ke)以(yi)評估(gu)加(jia)工表(biao)(biao)面的(de)(de)質量，進(jin)而優化加(jia)工參數和提高加(jia)工效率。

光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)測(ce)量技(ji)(ji)術(shu)是共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)原(yuan)(yuan)理和編碼(ma)技(ji)(ji)術(shu)的(de)(de)(de)融合(he)。一(yi)個(ge)完整(zheng)的(de)(de)(de)相對高(gao)度范疇能(neng)夠(gou)(gou)通過(guo)使用(yong)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)燈燈源(yuan)照明燈具和光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)儀(yi)(yi)(yi)完成(cheng)精確測(ce)量。光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)位移(yi)傳感器(qi)的(de)(de)(de)精確測(ce)量原(yuan)(yuan)理如下圖1所顯示，燈源(yuan)發出光(guang)(guang)(guang)(guang)經(jing)過(guo)光(guang)(guang)(guang)(guang)纖，再通過(guo)超(chao)色差(cha)(cha)鏡片(pian)，超(chao)色差(cha)(cha)鏡片(pian)能(neng)夠(gou)(gou)聚(ju)(ju)焦(jiao)(jiao)(jiao)在直線(xian)光(guang)(guang)(guang)(guang)軸上，產(chan)生一(yi)系(xi)列可見(jian)(jian)光(guang)(guang)(guang)(guang)聚(ju)(ju)焦(jiao)(jiao)(jiao)點。這種可見(jian)(jian)光(guang)(guang)(guang)(guang)聚(ju)(ju)焦(jiao)(jiao)(jiao)點是連續的(de)(de)(de)，不重合(he)的(de)(de)(de)。當待(dai)測(ce)物(wu)放置檢測(ce)范圍內時，只有一(yi)種光(guang)(guang)(guang)(guang)波長能(neng)夠(gou)(gou)聚(ju)(ju)焦(jiao)(jiao)(jiao)在待(dai)測(ce)物(wu)表層并反射面，依據激光(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)路的(de)(de)(de)可逆回到(dao)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)儀(yi)(yi)(yi)，產(chan)生波峰(feng)焊。全部(bu)別的(de)(de)(de)波長也將失去焦(jiao)(jiao)(jiao)點。運用(yong)單頻干涉儀(yi)(yi)(yi)的(de)(de)(de)校準(zhun)信息計算(suan)待(dai)測(ce)物(wu)體的(de)(de)(de)部(bu)位，創建光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)峰(feng)處波長偏移(yi)的(de)(de)(de)編號(hao)。該(gai)超(chao)色差(cha)(cha)鏡片(pian)通過(guo)提升(sheng)，具備比較大的(de)(de)(de)縱向色差(cha)(cha)，用(yong)以在徑向分離出來電(dian)子光(guang)(guang)(guang)(guang)學信號(hao)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)成(cheng)份。因而，超(chao)色差(cha)(cha)鏡片(pian)是傳感器(qi)關(guan)鍵(jian)部(bu)件，其設(she)計方案尤為(wei)重要。光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)技(ji)(ji)術(shu)具有精度高(gao)、效率高(gao)等優(you)點。

光(guang)(guang)譜(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)(qi)作為一種新(xin)型高(gao)精(jing)(jing)密(mi)(mi)(mi)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)(qi)，其(qi)測(ce)(ce) 量(liang)精(jing)(jing)密(mi)(mi)(mi)度(du)(du)可達 土 0.02%。開始產生在(zai)法(fa)國(guo)的(de)(de)，相較(jiao)于(yu)光(guang)(guang)柵尺(chi)、容柵 或電(dian)(dian)感器(qi)(qi)(qi)電(dian)(dian)臺廣(guang)播、電(dian)(dian)感器(qi)(qi)(qi)差(cha)動(dong)變壓器(qi)(qi)(qi)式偏(pian)移傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)(qi)，其(qi)在(zai)偏(pian)移測(ce)(ce)量(liang)方面(mian)的(de)(de)優勢更加(jia)明顯。現如(ru)今，因為光(guang)(guang)譜(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)(qi)擁有高(gao)精(jing)(jing)密(mi)(mi)(mi)、，因而，其(qi)在(zai)幾何量(liang)高(gao)精(jing)(jing)密(mi)(mi)(mi)測(ce)(ce)量(liang)層(ceng)面(mian)的(de)(de)應用愈來愈普遍，如(ru)漫反(fan)射(she)光(guang)(guang)及平面(mian)圖(tu)反(fan)射(she)面(mian)的(de)(de)偏(pian)移測(ce)(ce)量(liang)、平整度(du)(du)測(ce)(ce)量(liang)、塑料薄(bo)膜(mo)及透(tou)明材料薄(bo)厚測(ce)(ce)量(liang)、外表粗糙度(du)(du)測(ce)(ce)量(liang)等(deng)(deng)。在(zai)偏(pian)移測(ce)(ce)量(liang)層(ceng)面(mian)，自光(guang)(guang)譜(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)(qi)面(mian)世至(zhi)今，它基(ji)本(ben)功能就是(shi)測(ce)(ce)量(liang)偏(pian)移。馬敬等(deng)(deng)對(dui)光(guang)(guang)譜(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)散射(she)目(mu)鏡進(jin)行分(fen)析，制定了(le)(le)散射(she)目(mu)鏡的(de)(de)構(gou)造，提(ti)升(sheng)了(le)(le)光(guang)(guang)譜(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)各(ge)項特性(xing)；畢 超 等(deng)(deng) 利 用光(guang)(guang)譜(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)(qi)完成了(le)(le)對(dui)飛機發(fa)動(dong)機電(dian)(dian)機轉子葉子空(kong)隙的(de)(de)高(gao)精(jing)(jing)密(mi)(mi)(mi)、高(gao)效率的(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)。在(zai)平整度(du)(du)測(ce)(ce)量(liang)層(ceng)面(mian)，位恒政等(deng)(deng)對(dui)光(guang)(guang)譜(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)檢測(ce)(ce)誤(wu)差(cha)進(jin)行分(fen)析，在(zai)其(qi)中，對(dui)其(qi)平面(mian)圖(tu)檢測(ce)(ce)誤(wu)差(cha)科學研究時，利用光(guang)(guang)譜(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)傳(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)(qi)對(dui)圓平晶的(de)(de)平整度(du)(du)開展測(ce)(ce)量(liang)，獲得(de)了(le)(le)平面(mian)圖(tu)檢測(ce)(ce)誤(wu)差(cha)值。光(guang)(guang)譜(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)技術的(de)(de)研究對(dui)于(yu)相關行業的(de)(de)發(fa)展具(ju)有重要意義。寶(bao)雞推(tui)薦光(guang)(guang)譜(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)

光譜共焦位移傳(chuan)感器可以實時(shi)監測材料的(de)(de)變(bian)化情(qing)況，對于研究材料的(de)(de)力學性能(neng)具有重(zhong)要意義(yi)。和平區高性能(neng)光譜共焦

在容器(qi)玻(bo)璃(li)的(de)(de)(de)生產過程中，瓶子的(de)(de)(de)圓度(du)和壁厚是(shi)重要的(de)(de)(de)質量(liang)特征(zheng)。因此，必須檢(jian)查這些參數(shu)。任何有缺(que)陷(xian)的(de)(de)(de)容器(qi)都會(hui)立即被(bei)拒絕并返回到玻(bo)璃(li)熔體中。高處理速度(du)與防止損(sun)壞瓶子的(de)(de)(de)需要相結(jie)合(he)，需要快(kuai)速的(de)(de)(de)非(fei)接觸(chu)式(shi)測(ce)量(liang)程序。而光譜共(gong)(gong)焦傳感器(qi)適合(he)這項測(ce)量(liang)任務。該(gai)系統在兩個點上(shang)同步測(ce)量(liang)。數(shu)據通(tong)過 EtherCAT 接口實(shi)時輸出(chu)，厚度(du)校準(zhun)功能(neng)允許在傳感器(qi)的(de)(de)(de)整個測(ce)量(liang)范圍內(nei)進行精確的(de)(de)(de)厚度(du)測(ce)量(liang)。無(wu)論(lun)玻(bo)璃(li)顏色如何，自動曝光控制都可以實(shi)現穩定(ding)的(de)(de)(de)測(ce)量(liang)。和平區高性能(neng)光譜共(gong)(gong)焦

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